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电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法

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发布时间:2023-04-27
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电子级硫酸颗粒管控的难点及解决方法
近期普洛帝测控液体颗粒计数器部门接到好几个咨询电话,都是咨询管控电子级硫酸的仪器。什么是电子级硫酸?电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。电子级硫酸有哪些应用?电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要用于硅

近期普洛帝测控液体颗粒计数器部门接到好几个咨询电话,都是咨询管控电
子级硫酸的仪器。
什么是电子级硫酸?
电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,是一种微电子技
术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。
电子级硫酸有哪些应用?
电子级硫酸广泛应用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程,主要
用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒,无机残留物和碳沉积
物。
为什么要对电子级硫酸进行颗粒管控?
电子级硫酸的纯度和洁净度对电子元的件成品率、电性能及可靠性有着重要
的影响。电子级硫酸是芯片制造工艺中用量最大的电子化学品,主要用于去除晶
圆片上残留的金属和有机物杂质,质量要求高,产品中金属离子须达到 ppt
目前,我国电子级硫酸产品完全依赖德国 BASF 等外企进口,严重制约我国
芯片产业发展,是主要卡脖子产品之一。
近两年,我国电子级硫酸制备技术取得突破,产品质量显著提高,电子级硫
酸产品中金属离子浓度均小于 10ppt,超越了国际 SEMI-C12(金属离子<100ppt
级别,与国际电子化学品供应量最大、品质最好的巴斯夫电子级硫酸品质处同一
级(金属离子<10ppt),达到国内领先、世界一流水平。
基于上述原因,我国新的电子级硫酸标准将于 2023 5 1 日正式施行,
也将颗粒管控提到了标准管控层面。
电子级硫酸管控有哪些难点?
有 2 个,一个是硫酸的腐蚀性,一个是硫酸的浓度。98%浓度的电子级硫酸
的腐蚀性很强,这个就要求颗粒管控的仪器的耐强腐蚀很强。高浓度的硫酸检测,
接液材质达不到这个检测浓度就无法需要稀释检测,稀释又会存在手动稀释和自
动稀释的问题,都是给电子级硫酸检测无形中增加了麻烦。
如何解决?
针对这 2 个问题,普洛帝研发团队经过反复试验,攻破了这 2 个难点,将电
子级硫酸的检测浓度提升到 98%。在高浓度强酸性的情况下,依然可以实现颗粒
管控的准确性。这款仪器就是普洛帝自主研发的品牌型号 PMT-2,选用 0.1-1.0um
检测范围的强腐蚀性传感器,实现了电子级硫酸的颗粒管控目的。目前,已经在
江苏、广东等地的电子级硫酸生产企业得到了应用。

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